干式無油應(yīng)用/捷豹干式無油螺桿機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)的解決方案

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半導(dǎo)體技術(shù)是現(xiàn)代電子工業(yè)的基礎(chǔ)，‌其應(yīng)用幾乎滲透到所有電子產(chǎn)品的核心部分。‌從計(jì)算機(jī)、‌手機(jī)、‌電器到信息產(chǎn)品，‌集成電路（‌IC）‌無處不在，‌發(fā)揮著控制功能。‌半導(dǎo)體技術(shù)的快速發(fā)展，‌極大地推動(dòng)了計(jì)算機(jī)性能的提升，‌使得數(shù)據(jù)處理和存儲(chǔ)能力日益強(qiáng)大。‌

半導(dǎo)體制造工藝環(huán)節(jié)流程：

半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工過程主要包括晶圓制造（前道，F(xiàn)ront-End）和封裝（后道，Back-End）測試，隨著先進(jìn)封裝技術(shù)的滲透，出現(xiàn)介于晶圓制造和封裝之間的加工環(huán)節(jié)，稱為中道（Middle-End）。

其中以復(fù)雜的晶圓制造（前道）和傳統(tǒng)封裝（后道）工藝為例：晶圓生產(chǎn)線可以分成7個(gè)獨(dú)立的生產(chǎn)區(qū)域：擴(kuò)散（Thermal Process）、光刻（Photo- lithography）、刻蝕（Etch）、離子注入（Ion Implant）、薄膜生長（Dielectric Deposition）、拋光（CMP）、金屬化（Metalization）。傳統(tǒng)封裝（后道）測試工藝可以大致分為背面減薄、晶圓切割、貼片、引線鍵合、模塑、電鍍、切筋/成型和終測等8個(gè)主要步驟。

以上的生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)中，需要用到大量的空氣動(dòng)力，由于半導(dǎo)體的制造過程需要極高的精密度和清潔度，因此壓縮空氣中的任何微小雜質(zhì)，包括灰塵和油分，都可能影響產(chǎn)品的質(zhì)量。

捷豹無油機(jī)應(yīng)用半導(dǎo)體行業(yè)：

此次項(xiàng)目客戶是XX半導(dǎo)體（杭州）有限公司，是國內(nèi)新晉的功率半導(dǎo)體供貨商，主要從事功率模塊、功率器件的研發(fā)和銷售。該公司在杭州投資建設(shè)新廠，占地面積約15畝，總建筑面積約10000平方米，規(guī)劃建設(shè)10條智能化模塊封裝生產(chǎn)與組裝線。每年將生產(chǎn)6萬顆高端航天及車規(guī)級IGBT與SiC芯片、模塊及器件等產(chǎn)品。

經(jīng)過前期溝通不斷優(yōu)化空氣動(dòng)力方案，最終客戶采用兩套捷豹ZS-75干式無油變頻螺桿機(jī)。捷豹干式無油螺桿機(jī)壓縮過程中無需任何潤滑介質(zhì)參與，獨(dú)一無二的外形和內(nèi)部結(jié)構(gòu)，前后軸承采用迷宮密封+碳環(huán)密封+氣密封三級密封形式，使壓縮腔和潤滑油完全隔離，空氣壓縮過程沒有潤滑油參與，保證產(chǎn)出壓縮空氣100%純凈無油！